研磨前檢查高真空不銹鋼隔膜閥的密封面。 深度小于0.05mm時，可通過打磨消除缺陷（沖擊、壓傷、刀痕、不平整、凹痕等）； 當深度大于0.05mm時，應先在車床上加工，然后再打磨（無論如何，不得使用銼刀或砂紙進行修補）。 當缺陷深度大于0.2mm時，應更換新的密封圈或堆焊層，然后打磨。

  當密封面的缺陷不明顯時，可通過以下方法檢查密封面的平整度：先用布擦拭密封面，然后用軟鉛筆標記輻射或同心圓 通過中高真空不銹鋼隔膜閥芯。 然后用校準板檢查校準情況，將校準板放在密封面上，輕輕按壓旋轉2～3圈，然后取下檢查密封面。 如果畫出來的鉛筆線都被印版擦掉了，說明封口面是平整的：如果封口面不平整，會留下一部分鉛筆線。 密封面的平整度也可以通過噴漆來檢查。

  為了快速研磨，有時可以預先進行粗研磨。 粗磨可使用大粒徑320粉（粒徑42~28um）； 細磨可使用小粒徑M28/M114細粉（粒徑28~10um），特別高精度可使用M7細粉（粒徑7~5um）。